http://dxyqgx.zzuli.edu.cn/model/TwoGradePage/NewsEquipment.aspx?id=44920&openid=194#tabs-2
性能指标*1.曝光类型：单面；*2.曝光面积：≥φ115mm；*3.曝光不均匀性：≤±2.9%；*4.曝光强度：≥20mw/cm2，365nm波长纯净，照明面温度<35℃；*5.分辨力：1.0μm（胶厚2μm的正胶）；
主要应用多功能型X射线光电子能谱仪以XPS分析系统作为主机基本单元，可以兼容紫外光电子能谱（UPS）、离子散射谱（ISS）、无损深度分析等其它表面分析技术。适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层（1～10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。
样品要求标注：刻蚀面积，线宽和厚度