http://dxyqgx.zzuli.edu.cn/model/TwoGradePage/NewsEquipment.aspx?id=44906&openid=188#tabs-2
性能指标1.分辨率：小于3.0nm（30kV，高真空，钨灯丝，二次电子）；小于4.0nm（钨灯丝，背散射电子）；2.加速电压最小范围：0.5～30KV，10V/步；3.放大倍数范围：30～200,00
；4.高真空度：1.5×10-3Pa；低真空度：6～270Pa；5.能谱仪Si（Li）探测器：分辨率优于133eV；6.能谱探测器的有效面积：10mm2；7.能谱元素分析范围：B5～U92。
主要应用广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。
样品要求样品要求干燥，无磁性