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主要应用: 微米和亚微米级部件的尺寸测量，表面形貌观察；半导体芯片表面形貌观察，非接触型的线宽，台阶深度等测量；摩擦学磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌；材料科学等。在石油地质方面，对储层微观孔隙结构、流体包裹体以及古生物研究等方面具有重要的应用价值，可以生成油气包裹体的三维图象，确定包裹体的气液比，还可以对储层中的孔喉的分布、面孔率测量、孔喉的大小以及孔喉形状及分布状况进行直观、深入细致的分析和研究。