首页 - 仪器设备 - 详细信息

扫描电子显微镜

发布部门:河南省表界面科学重点实验室  发布时间:2017-04-05 16:19:18.0  浏览量: 296

性能指标 1.分辨率:小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子);2.加速电压最小范围:0.5~30KV,10V/步; 3.放大倍数范围:30~200,00 倍;4.高真空度:1.5×10-3 Pa;低真空度:6~270 Pa;5.能谱仪Si(Li)探测器:分辨率优于133 eV;6.能谱探测器的有效面积:10 mm2;7.能谱元素分析范围:B5~U92。

主要应用 广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。

样品要求 样品要求干燥,无磁性